FSAM-400
스캐닝 속도를 새롭게 정의하다.
주요 특징
정밀함과 속도를 동시에 구현하는 차세대 초음파 비파괴 검사 장비
FSAM-400은 정밀 분석과 초고속 검사를 하나로 결합한 차세대 초음파 비파괴 검사 장비입니다.
타사 대비 30배
향상된 검사 속도
독자적 고속 스캐닝 모듈로 타사 대비
30배 빠른 Tact time 실현
웨이퍼 초고속 검사
12인치 웨이퍼 3분, 8인치 웨이퍼
1분 15초 내 검사 완료
TSAM 대비 10배 빠른 스캔
기존 시스템 대비 검사 속도와
데이터 처리 효율 10배 향상
μm 단위 결함 탐지
미세 공극, 박리, 층간 결함까지
고해상도로 정밀 검출
신뢰성 높은 품질 데이터
다채널 고대역 수신 구조로 안정적
데이터 품질 확보
비디오
적용 샘플 & 스캐닝 이미지
기술 사양
| 기술 사양 | |
|---|---|
| 항목 | FSAM - 400 |
| Scanning range | 100 (X) x 380 (Y) mm |
| Scanning velocity | 24 fps |
| Step size | 10 ~ 200 µm |
| Frequency range | 5 ~ 200 MHz |
| Number of channels | 1 , 2 , 4 |
| Digitizer | PCle 16bits 1GSPS |
| Size | 1,260 (W) x 1,100 (D) x 2,300 (H) mm |
| Weight | 300 kg |
※ 모든 사양은 커스터마이징 가능합니다.