RSAM-12”
웨이퍼 검사의 패러다임을 바꾸다.
주요 특징
웨이퍼 스캐닝에 최적화된 초음파 비파괴 검사 장비
RSAM-12”는 웨이퍼 검사를 위해 개발된 회전 스캐닝 초음파 비파괴 검사 장비입니다.
회전 스캐닝으로 효율 극대화
샘플 회전 구조를 적용해 검사 효율과
데이터 정밀도를 동시에 향상
불필요한 스캐닝 영역 최소화
비효율적인 스캔 구간을 제거해
데이터 수집 효율 극대화
순도 높은 영상 데이터
노이즈를 줄이고 고해상도 영상을
실시간으로 확보
신뢰성 높은 분석 결과
반복 검사 시에도 일관된 정밀도와
품질 보장
적용 샘플 & 스캐닝 이미지
기술 사양
| 기술 사양 | |
|---|---|
| 항목 | RSAM-12" |
| Scanning range | 300 (X) x 300 (Y) mm |
| Scanning velocity | 3.5 rps |
| Step size | 10 ~ 200 µm |
| Frequency range | 5 ~ 200 MHz |
| Number of channels | 1 |
| Digitizer | PCle 16bits 1GSPS |
| Size | 850 (W) x 850 (D) x 1,400 (H) mm |
| Weight | 350 kg |
※ 모든 사양은 커스터마이징 가능합니다.