USI TSAM 350
완전 자동화로 품질과 효율을 동시에 높이다.
주요 특징
정밀함과 속도를 동시에 구현하는 차세대 초음파 비파괴 검사 장비
USI TSAM 350은 전력반도체 검사를 위해 설계된 완전 자동화 SAM 시스템입니다.
전 과정 자동화
이송·스캔·건조까지
모두 자동으로 처리
진공 그리퍼 Pick & Place
정밀한 진공 그리퍼로
안정적인 샘플 배치를 지원
고해상도 초음파 스캐닝
μm 단위의 미세 결함까지
선명하게 탐지
선명하게 탐지
스캔 데이터를 기반으로
결함을 즉시 판정
실시간 검사 모니터링
검사 결과를 즉시 확인하고
공정 결정을 빠르게 진행
비디오
스캐닝 이미지 결과
기술 사양
| 기술 사양 | |
|---|---|
| 항목 | USI TSAM 350 |
| Scanning technique | Real time A, B, C, T–scan |
| Scanning range | 350 (X) x 350 (Y) mm |
| Scanning velocity | Max. 1,000 mm/s |
| Step size | 10 ~ 200 µm |
| Transducer |
Frequency: 50 ~ 100 MHz Focal length: 8 ~ 12 mm |
| Number of channels | 2 |
| Digitizer | PCle 16bits 1GSPS |
| DI water |
Temperature: 20 ~ 30 °C Pressure: 0.1 ~ 0.2 MPa Flow: 4 ~ 6 L/min |
| Air Supply | CDA 0.5 ~ 0.7 MPa Peak 500 L/min @ 0.6 MPa |
| Operating Environment |
Temperature: 15 ~ 30 °C Humidity < 85 % (non-condensing) |
| Power | 200 ~ 240 VAC, 60 Hz, 75 A, Three Phase |
| Size | 1,570 (W) x 1,830 (D) x 1,970 (H) mm |
| Weight | 1,880 kg |
※ 모든 사양은 커스터마이징 가능합니다.