USI TSAM 350

완전 자동화로 품질과 효율을 동시에 높이다.

USI TSAM 350

주요 특징

정밀함과 속도를 동시에 구현하는 차세대 초음파 비파괴 검사 장비

USI TSAM 350은 전력반도체 검사를 위해 설계된 완전 자동화 SAM 시스템입니다.

전 과정 자동화

전 과정 자동화

이송·스캔·건조까지
모두 자동으로 처리

진공 그리퍼 Pick & Place

진공 그리퍼 Pick & Place

정밀한 진공 그리퍼로
안정적인 샘플 배치를 지원

고해상도 초음파 스캐닝

고해상도 초음파 스캐닝

μm 단위의 미세 결함까지
선명하게 탐지

선명하게 탐지

선명하게 탐지

스캔 데이터를 기반으로
결함을 즉시 판정

실시간 검사 모니터링

실시간 검사 모니터링

검사 결과를 즉시 확인하고
공정 결정을 빠르게 진행

비디오

스캐닝 이미지 결과

Dual FSAM

기술 사양

기술 사양
항목 USI TSAM 350
Scanning technique Real time A, B, C, T–scan
Scanning range 350 (X) x 350 (Y) mm
Scanning velocity Max. 1,000 mm/s
Step size 10 ~ 200 µm
Transducer Frequency: 50 ~ 100 MHz
Focal length: 8 ~ 12 mm
Number of channels 2
Digitizer PCle 16bits 1GSPS
DI water Temperature: 20 ~ 30 °C
Pressure: 0.1 ~ 0.2 MPa
Flow: 4 ~ 6 L/min
Air Supply CDA 0.5 ~ 0.7 MPa Peak 500 L/min @ 0.6 MPa
Operating Environment Temperature: 15 ~ 30 °C
Humidity < 85 % (non-condensing)
Power 200 ~ 240 VAC, 60 Hz, 75 A, Three Phase
Size 1,570 (W) x 1,830 (D) x 1,970 (H) mm
Weight 1,880 kg

※ 모든 사양은 커스터마이징 가능합니다.